Sistem de Ventilație cu Control Multi-Zonă pentru Fabricație de Wafer-uri

ISO 14644 Clasa 5

Fabrica de Semiconductori AdvancedChip SRL · 2023

Proiectarea și implementarea unui sistem integrat de ventilație și control al particulelor pentru o linie nouă de fabricație a wafer-urilor de siliciu. Soluția noastră a asigurat menținerea unei presiuni diferențiale precise între zonele critice (lithography, etching) și coridoarele de serviciu, eliminând riscul de contaminare încrucișată. Sistemul incorporează filtre HEPA/ULPA cu monitorizare în timp real și tehnologie de ion milling pentru curățarea periodică a plăcilor de difuzie, garantând un nivel de particule sub 3,520 pe metru cub, conform standardului ISO.

Consimțământ pentru Cookie-uri

Acest site folosește cookie-uri pentru a îmbunătăți experiența de navigare și pentru a oferi conținut personalizat. Prin continuarea navigării, sunteți de acord cu utilizarea acestora. Puteți gestiona preferințele dvs. în orice moment.