Sistem de Ventilație cu Control Multi-Zonă pentru Fabricație de Wafer-uri
ISO 14644 Clasa 5Proiectarea și implementarea unui sistem integrat de ventilație și control al particulelor pentru o linie nouă de fabricație a wafer-urilor de siliciu. Soluția noastră a asigurat menținerea unei presiuni diferențiale precise între zonele critice (lithography, etching) și coridoarele de serviciu, eliminând riscul de contaminare încrucișată. Sistemul incorporează filtre HEPA/ULPA cu monitorizare în timp real și tehnologie de ion milling pentru curățarea periodică a plăcilor de difuzie, garantând un nivel de particule sub 3,520 pe metru cub, conform standardului ISO.